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日本住友SGX系列半導(dǎo)體用臭氧水生產(chǎn)設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào):SGX-1G21SNC
品牌:日本住友
臭氧濃度:0-150ppm
臭氧產(chǎn)量:150ppm
使用氣源:氧氣源
推薦指數(shù):comment rank 5
冷卻方式:水冷
設(shè)備尺寸: 定制
整機(jī)重量:20~100Kg
產(chǎn)地: 日本
購(gòu)機(jī)說(shuō)明:
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支持定制,滿足實(shí)驗(yàn)需求
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產(chǎn)品分類樹

產(chǎn)品詳情

實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場(chǎng)

臭氧知識(shí)

參考文獻(xiàn)

住友的潔凈臭氧水制造設(shè)備是將潔凈臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧氣體溶解于超純水中,生成臭氧水的裝置。
更大限度地抑制微粒子和金屬污染的溶出,在半導(dǎo)體、液晶等電子設(shè)備材料的制造過(guò)程中,用于去除有機(jī)物、表面改性等用途,得到眾多客戶的高度評(píng)價(jià)評(píng)價(jià)。。
 
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體
各種晶圓
FPD(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
硬盤
 
SGX-1G21SNC規(guī)格
臭氧水濃度:5至100ppm
臭氧水流量:1 至 120 升/分鐘
臭氧水供給壓力:max.0.25MPa
原料氣:氧氣,(二氧化碳作為濃度衰減的對(duì)策)
電源:AC200V 三相


SGX-1B11SN規(guī)格
臭氧水濃度 5至150ppm
臭氧水流量 1 至 90 升/分鐘
原料氣 氧氣,(二氧化碳作為濃度衰減的對(duì)策)
電源 AC200V 三相

SGXG規(guī)格
臭氧水濃度:5-30ppm
臭氧水流量:1 至 60 升/分鐘
原料氣:氧氣(二氧化碳作為濃度衰減的對(duì)策)
電源:AC200V 三相
 
特征
能夠處理高濃度和大流量
占地面積小,結(jié)構(gòu)緊湊
低廉的運(yùn)行成本(低功耗、更換部件少、放電電池壽命長(zhǎng))
高耐壓、長(zhǎng)壽命的高可靠性放電電池
快速啟動(dòng)和出色的集中響應(yīng)能力
通過(guò)連接臭氧濃度計(jì)(反饋控制)實(shí)現(xiàn)出色的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL 認(rèn)證,符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)
停機(jī)時(shí)無(wú)需維護(hù)
也可提供不含硝酸的臭氧水
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