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科研用高濃度高純度臭氧發(fā)生器(液化型)

產(chǎn)品型號(hào):3S-B50
品牌:同林
臭氧濃度:>99%
臭氧產(chǎn)量:定制
使用氣源:氧氣
推薦指數(shù):comment rank 5
冷卻方式:自動(dòng)冷卻
設(shè)備尺寸: 390*695*1190mm
整機(jī)重量:30kg
產(chǎn)地: 北京
購(gòu)機(jī)說(shuō)明:
提前了解實(shí)驗(yàn)要求,才能更好的為您推薦合適的實(shí)驗(yàn)機(jī)型。咨詢(xún)?cè)诰€客服或致電:010-82461830,謝謝~~

支持定制,滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)需求
配件完善,安裝如此簡(jiǎn)單
順豐快遞,包裝配送無(wú)憂(yōu)
視頻指導(dǎo),問(wèn)題及時(shí)解決
產(chǎn)品分類(lèi)樹(shù)

產(chǎn)品詳情

實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場(chǎng)

臭氧知識(shí)

參考文獻(xiàn)

3S-B50高純臭氧發(fā)生器是液化和儲(chǔ)存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平,它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見(jiàn),本機(jī)具有足夠的安全措施。

優(yōu)勢(shì):
●超高純臭氧制備
●臭氧濃度高于99.5%
●液化池容積限制設(shè)計(jì)
●安全閥設(shè)計(jì)
●急停設(shè)計(jì)


產(chǎn)品特點(diǎn)
● 全金屬密封臭氧液化池
● 無(wú)硅膠吸附劑
● 閉循環(huán)制冷機(jī)自動(dòng)控溫
● 提純速度快,準(zhǔn)備時(shí)間只需30分鐘;提純1小時(shí),能產(chǎn)出約4標(biāo)升高純臭氧氣體,可滿(mǎn)足大部分用戶(hù)十小時(shí)以上的生長(zhǎng)需求
● 設(shè)計(jì)緊湊
● 操作簡(jiǎn)便,即起即停
● 高純臭氧應(yīng)用領(lǐng)域:化學(xué)氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長(zhǎng),表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化等。
臭氧輸出束流的穩(wěn)定性和持續(xù)性

日本進(jìn)口高純臭氧系統(tǒng)
日本進(jìn)口高純臭氧系統(tǒng)
將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后,生成99.99%濃度臭氧。
可以持續(xù)供給99.99%濃度臭氧。
工作原理

臭氧應(yīng)用


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